ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЕ АБЕРРАЦИИ, искажения электронно-оптических изображений. Среди аберраций осесимметричных приборов наибольшую роль играют: сферическая аберрация, кома, астигматизм, кривизна поля изображения и дисторсия, хроматические аберрации (искажения, обусловленные немоноэнергетичностью пучка электронов).
|